LensThick非接触式光学测厚仪


测量原理

  LensThick非接触式光学测厚仪利用低相干光干涉测量方法来精确测量厚度,以宽谱光源作为相干光源,其相干长度短,只有在测量光和参考光的光程相等时才能产生干涉峰值,因此具有很好的空间定位特性,测厚仪内置光学干涉仪,通过计算透镜前后镜面顶点对应干涉峰之间的距离变化可以得出透镜的中心厚度。


典型应用


主要优势


设备介绍

  LensThick光学测厚仪的操作简单,每次可轻松获得可靠的厚度值。测量数据经过数字信号处理器计算,通过USB传输到PC,再以图形的形式显示在用户界面,可直接读取每层厚度值,操作更简单、更直观。


测量过程

(1)将光学测量头对准被测产品。

(2)激光通过光学测量头照射到材料表面。

(3)光学测量头收集反射光并将其返回到系统的干涉仪进行分析。

(4)测量数据通过USB传输到电脑。

(5)LensThick软件用于显示测量结果、设置参数及输出数据报告。


测量软件

  光学测厚仪使用LensThick软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号,以便实时优化。

  自动峰值模式:使用操作员创建的样品设计文件,可以定义最多32个反射面(31层)的预期峰值位置,软件可自动识别在指定的阈度内最接近预期峰值位置的峰值,从而计算并输出每层的厚度。此外,软件还带有判据功能,即超出设计值的公差范围,数据显示为红色。这些功能对质量控制是非常快速有效的。



规格参数

LensThick 系列

型号

12-1 UP

12-1

40-1 UP

40-1

厚度测量

方法

非接触式光学干涉法

最大光学厚度

(折射率为1的空气间隔)

12 mm

40 mm

最大物理厚度

(折射率为1.5的材料)

8 mm

26 mm

最小物理厚度

(折射率为1.5的材料)

16 μm

35 μm

20 μm

35 μm

精度  1,2

±0.1 μm

±1 μm

±0.1 μm

±1 μm

重复性  3,4

±0.02 μm

±0.05 μm

±0.02 μm

±0.05 μm

可溯源

NIST认证标准

单位

mm、μm、mils

测量频率

20 Hz

7 Hz

仪器接口

USB2.0及以上接口

电脑配置 

Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,键盘,鼠标

环境  5

热机时间

温度

15℃ 30℃ (存储 -10℃ +70℃

压力

500 — 900 mm Hg

湿度

+40℃ ≤90% R.H. (无冷凝)

主机尺寸和重量

尺寸

600mm×590mm×370mm(长××高)

重量

42㎏

支架尺寸和重量

尺寸

350mm×350mm×590mm(长×宽×高)

重量

15

功率

90-264 VAC,47-63 Hz,80 VA最大

质保期

1年

⑴ 定义为测量不确定度或最大厚度误差,置信度≥99.7%。

⑵ 整个运行环境条件的不确定性。

⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。

⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。

    当反射条件较低时,重复性最坏会降低到约±0.15μm。

⑸ 特性性能,但不是一定的。



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