线性ECR宽波束离子源


线性ECR宽波束离子源


图1  EC/L600线性宽波束离子源


产品介绍

 ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。在离子源内,等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时,电子会发生共振吸收,此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级),获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子,而电离出的电子很快也会发生回旋共振,撞击原子产生更多的电子,从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加,而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加,这使得等离子体的浓度得到很大提高。多个单ECR离子源结合到一起,组成线性ECR宽波束离子源。

  1. EC/L600线性宽波束离子源使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源,配备特殊电网绝缘调节系统,在交变电场与永磁体的静磁场的作用下,等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR),拥有长达2米的工作模块,均匀离子流超过总长度的65%。

  2. EC/L600线性宽波束离子源使用功能陶瓷,维护方便快捷,工作寿命长(超过300小时),所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源,栅网系统有多种形状与材料,方便实现最佳工艺适应。

技术规范


图2 EC/L600线性宽波束离子源尺寸布局


参数

EC/L600

类型

法兰安装射频激励离子源

多孔径提取栅网

源材料

放电管:Al2O3

栅网:C

微波天线的真空分离:二氧化硅杯

永磁体:NdFeB

外壳:不锈钢

磁屏蔽:镀镍钢

栅网类型

2栅网或3栅网系统

2种不同焦距的标准系统

型号

深度:标准110 mm(可调为250 mm

235 mm x 675 mm(无法兰)

重量

75kg

法兰

O形密封圈的非标准矩形法兰

340 mm x 775 mm

微波电源

每个模块在2.45 GHz时约125-400 W

离子电流

最大1 A(取决于栅网类型和运行条件)

离子能量

100 2000 eV

加速电压

0 –1000 V

过程气体

惰性气体,N2(无限制)

O2和含卤素气体(栅极寿命缩短)

气流流量

5-20sccm

接头:1/8“Swagelock(空气和真空)

冷却水

1.5 l/min

电连接

6 mm Swagelock


线性ECR宽波束离子源

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