图1 EC/A125
ECR离子源是利用稀薄气体中的高频放电现象使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。在离子源内，等离子体运动轨迹是一条螺旋线。当电磁场的频率ω等于回旋频率ωc时，电子会发生共振吸收，此时电子对微波电场的能量产生很强的吸收(提高几个数量级），获得巨大能量的电子会撞击原子产生新的电子，而电离出的电子很快也会发生回旋共振，撞击原子产生更多的电子，从而使得真空室内等离子体可以达到很高的浓度。电子回旋共振不但让电子获得的能量大幅增加，而且使得电子和原子碰撞的几率大大增加，这使得等离子体的浓度得到很大提高。
1. EC125可调离子源用于外部法兰安装，使用简单、紧凑的微波耦合的无灯丝源，配备特殊电网绝缘调节系统，在交变电场与永磁体的静磁场的作用下，等离子体在真空室内部发生产生电子回旋共振(ECR)。
2. EC125可调离子源使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长（超过300小时），所有的惰性气体以及氧气等活性气体均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料，并拥有全方向节点机械调整系统（每个方向10 grd），方便实现最佳工艺适应。
图2 带有PBN的 EC/A125
表1
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参数 |
EC/A125 |
EC/F125 |
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类型 |
法兰安装可调射频ECR离子源 多孔径提取栅网 |
法兰安装射频ECR离子源 多孔径提取栅网 |
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源材料 |
放电管：Al2O3 栅网：C或Mo 微波天线的真空分离：二氧化硅杯 永磁体：NdFeB 外壳：不锈钢 磁屏蔽：镀镍钢 |
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栅网类型 |
2栅网或3栅网系统 2种不同焦距的标准系统 |
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型号 |
插入深度：280 mm（无PBN） 直径：220 mm（无PBN） |
插入深度：135 mm（不带PBN） 直径：220 mm（无PBN） |
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重量 |
14.5kg |
11.5kg |
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法兰 |
DN 250 |
DN200 |
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微波电源 |
~125 to 400 W at 2.45 GHz |
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离子电流 |
最大180 mA（取决于电网类型和运行条件） |
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离子能量 |
100 到 2000 eV |
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加速电压 |
0 –1000 V |
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过程气体 |
惰性气体，N2（无限制） O2和含卤素气体（栅极寿命缩短） |
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气流流量 |
5-20sccm 接头：1/8“Swagelock（空气和真空） |
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冷却水 |
1.5 l/min |
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接头 |
6 mm Swagelock |
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