KF/F 40 KF/I 40
图1 热灯丝宽波束离子源
产品介绍
热灯丝阴极离子源是通过加热灯丝发射原初电子，发射出来的原初电子，经过阴极鞘层被加速获得相应于等离子体与阴极之间电位差的能量。等离子体的电位略高于阳极电位。这类高速电子与从进气口均匀进入放电室的气体原子相碰撞形成等离子体，形成的离子被离子光学系统发出形成离子束。
1. KF40使用简单、紧凑的考夫曼离子源，可以方便快速地更换灯丝，配备特殊电网绝缘调节系统，所有的惰性气体以及氮气均可适用于离子源，栅网系统有多种形状与材料。
2. KF40安装在仪器内部和外部均可，使用功能陶瓷，维护方便快捷，工作寿命长。
技术规范
图2 热灯丝宽波束离子源尺寸布局
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参数 |
KF/F40 |
KF/I40 |
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类型 |
法兰安装考夫曼子源 多孔径提取栅网 |
内部安装射考夫曼源 多孔径提取栅网 |
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源材料 |
放电管：Al2O3 栅网：C或Mo 灯丝固定器：Mo 永磁体：AlNiCo 外壳：不锈钢 灯丝：钨 |
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栅网类型 |
2栅网或3栅网系统 3种不同焦距的标准系统 |
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型号 |
参见上图（无中和器） |
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重量 |
约4.5kg |
约2.5kg |
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法兰 |
DN 100 CF |
3个DN 40 CF介质引线 |
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阴极电流: |
最大30A |
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放电电流/电压 |
最大6A / 150 V |
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离子电流 |
最大25 mA（取决于栅网类型和运行条件） |
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离子能量 |
50 到 1500 eV |
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加速电压 |
0 –1000 V |
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过程气体 |
惰性气体，N2，不能是活性气体 |
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气流流量 |
2-7sccm 接头：6 mm Swagelock |
2-7sccm 接头：1/8“Swagelock（空气和真空） |
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电连接 |
HV-DC：BNC HC-DC：电源启动 |
空气侧：BNC，电源接通 真空侧：包括0.5米真空电缆的电源启动 |