设备原理
设备基于低相干干涉原理，采用非接触式光学测量，并配备高精度移动平台和视觉校正系统，自动测量产品的厚度及空气间隔。
主要功能
1. 非接触式测量透镜中心厚度
2. 非接触式测量微小镜头空气间隔
3. 自动上料—自动定位—自动测量—自动下料
4. UPH，单穴测量时间不大于4秒
5. 测量精度高达±0.1 μm
设备特点
1. LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；
2. 配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；
3. 采用大理石组合结构，稳定性高
4. XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；
5. 采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；
6. 测量时通过CCD图像校正，保证测量中心位置准确；
主要配置/设备关键部件
非接触式光学测厚仪
测量光程： 12mm/ 40mm/80mm平面度：±0.005mm
直线度：±0.005mm
重复定位精度：±0.001mm
绝对位置精度：±0.001mm
视觉校正相机：
2000万像素
低噪声，高精度
工作环境及设备尺寸参数
工作电压：220V±10%
工作环境：室温-10℃—45℃，湿度≤95%；
环境相对湿度：在+40℃时 ≤90% R.H. （无冷凝）
外型尺寸：800×1200×1960
设备总重量：约500kg
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规格参数 |
LensThick 系列 |
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型号 |
12-1UP |
40-1UP |
80-1UP |
12-1 |
40-1 |
80-1 |
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厚度测量 |
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方法 |
非接触式光学干涉法 |
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精度 1,2 |
±0.1 μm |
±1 μm |
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重复性 3,4 |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
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最大量程（光程）5 |
12 mm |
40 mm |
80 mm |
12 mm |
40 mm |
80 mm |
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最小厚度6 |
16μm |
20μm |
24μm |
35μm |
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测量频率 |
20 Hz |
7 Hz |
4 Hz |
20 Hz |
7 Hz |
4 Hz |
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单位 |
mm、μm |
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溯源 |
NIM认证标准 |
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环境 7 |
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热机时间 |
无 |
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温度 |
15℃到30℃（存储-10℃到+70℃） |
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压力 |
500 — 900 mm Hg |
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湿度 |
在+40℃时≤90% R.H.（无冷凝） |
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主机尺寸和重量 |
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尺寸 |
570mm×700mm×590mm（长×宽×高） |
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重量 |
60㎏ |
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支架尺寸和重量 |
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尺寸 |
330mm×430mm×685mm（长×宽×高） |
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重量 |
20㎏ |
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其他 |
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功率 |
90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA最大 |
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仪器接口 |
USB2.0及以上接口 最多可支持8通道测量 |
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电脑配置 |
Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，键盘，鼠标 |
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质保期 |
1年 |
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⑴ 定义为测量不确定度或最大厚度误差，置信度≥99.7%。
⑵ 整个运行环境条件的不确定性。
⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。
⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。
当反射条件较低时，重复性最坏会降低到约±0.15μm。
⑸ 折射率为1时。
⑹ 折射率为1.5的材料。
⑺ 特性性能，但不是一定的。